微细加工光学技术国家重点实验室于1991年成立，1993年对外开放，现任学术委员会主任为清华大学周炳琨院士。
实验室以推动微细加工光学技术中关键科学和技术问题的实质性进步为目标，以基础研究服务于国家重大战略需求为宗旨，瞄准微纳光学国际前沿，围绕电磁波与微纳结构相互作用，深入研究微纳结构中电磁波的新现象及机理、微细结构的产生方法，形成新概念材料、微纳光电子器件及系统等方面的基础和应用基础创新研究、人才培养和科普教育基地。
目前实验室主要开展微纳光学及亚波长光学、微光学与微系统、微纳加工技术及装备、高分辨成像及光谱技术四个方向的研究。研究内容包括：亚波长人工结构材料、超衍射光学、视光学波前工程、微纳光学、微细加工技术及装备、MEMS技术、193nm光刻、轻量化高分辨成像等。
近年来，实验室承担了包括国家重大科技专项、973计划、863计划、国家自然科学基金、省部级科技项目、国际合作与交流以及横向合作等项目200余项。获得多项国家及省部级成果。其中国家重大科技装备成果特等奖1项、一等奖1项，国家科学技术进步特等奖2项、三等奖2项，中国科学院科技进步奖一等奖5项、二等奖2项、三等奖2项，中科院自然科学奖二等奖1项、三等奖1项，省部级一等奖2项，四川省科技进步一等奖2项、二等奖2项、三等奖2项等。
实验室现有固定人员63人，其中拥有博硕士学历55人，包括中国工程院院士1名，国家杰出青年科学基金获得者、中科院百人计划及国家百千万人才入选者等。
